Yüksek Frekans Atmosferik Basınç Plazma Sisteminin İncelenmesi


Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Süleyman Demirel Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2011

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: ALI GULEC

Asıl Danışman (Eş Danışmanlı Tezler İçin): Lütfi ÖKSÜZ

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

Atmosferik basınç plazmaların endüstriyel uygulamaları gün geçtikçe artmaktadır. Karmaşık vakum elemanları gerektirmemeleri en önemli avantajlarıdır. İstenen işleme uygun atmosferik basınç plazma üretmek için, plazma parametrelerinin ve karakteristiklerinin belirlenmesi gerekir. Bu tezde yüksek frekans (radyo frekans 13.56 MHz) atmosferik basınç, kapasitif parlak deşarj, elektriksel ve optik metotlarla tanımlandı. Plazma silindirik cam tüp içinde helyum akışıyla elde edildi. Akım-voltaj karakteristikleri, uygulanan rf gücün artışıyla deşarj modunda değişiklik olduğunu gösterdi. ICCD kamera kullanılarak deşarjın zamana ve uzaya bağlı fotoğrafları çekildi. Bu fotoğraflarda da deşarjdan yayılan ışık şiddetinin tepe noktalarının yüksek rf güçlerde değiştiği gözlendi. ICCD fotoğraflardan yapılan diğer gözlem de deşarjın ışık şiddetinin, rf sinyalin fazına ve helyum akış hızına bağlı olmasıdır. Atmosferik plazmanın elektron sıcaklığı ve elektron yoğunluğu sırasıyla 4.7 eV ve 7.35 x 1012 cm-3 olarak çift sonda metoduyla belirlendi. Optiksel salınım spektrumu (OES) metodu plazma içindeki atomik ve moleküler parçacık türlerini belirlemede kullanıldı. N2, N2+ moleküler ve He, O, H ve N atomik çizgileri gözlendi. Oksijen çizgileri elektron sıcaklığını belirlemek için Boltzmann eğrisi yönteminde kullanıldı.Ayrıca atmosferik basınçta yalıtkan engelli aktüatör deşarjının optiksel analiziyle ilgili sonuçlara yer verildi. Optiksel analizde, rf deşarjdakine benzer biçimde OES ve ICCD kamerayla gerçekleştirildi. Deşarjın spektrumları teorik SPECAIR spektrumlarıyla karşılaştırıldı ve deşarjın elektron, titreşimsel, dönmesel ve hareketsel sıcaklıkları belirlendi. Deşarjın zamana ve uzaya bağlı fotoğrafları çekildi.